Description
产品参数：
ZMI-4104
最小光功率：8.0µW、1.9µW、1.0µW、0.07µW。
最小电压：1.0 V。
提供亚纳米分辨率的测量能力。
产品规格：
ZMI-4104可以扩展到多达64个测量轴。
板卡类型为6U VME或6U VME64x。
ZMI-4104属于ZYGO的ZMI系列，该系列包括多种型号的位移测量干涉仪。
特征：
高精度：能够实现纳米级的高精度位移测量。
快速响应：适用于高速运动和动态测量。
可扩展性：支持模块化添加到VME机箱中，以提供多达64个测量轴。
