Description
产品说明
ZMI-2002 8020-0211-1-J
ZMI-2002是一种双轴6U VME测量板，主要用于高精度的位移和距离测量。它采用先进的干涉测量技术，能够提供精确和可靠的测量结果。
产品参数
型号:ZMI-2002 8020-0211-1-J
品牌:ZYGO
系列:ZMI-2000
功能:双轴测量板，用于测量表面形貌和轮廓。
光源:633 nm激光。
传感器:CMOS阵列。
分辨率:<1 nm。
测量范围:X轴：50 mm，Y轴：25 mm。
精度:±0.1µm。
工作温度:0°C至+40°C。
保护等级:IP54。
尺寸:229 x 114 x 29 mm。
重量:1.2 kg。
产品规格
接口类型:VME（VersaModule Eurocard）。
测量轴数:双轴。
噪声:<0.1纳米RMS。
系列
ZMI-2002属于ZYGO公司的ZMI-2000系列，该系列还包括其他型号如ZMI-4104双轴测量板。
特征
双轴设计:提供两个独立的测量通道，可同时测量两个正交轴上的位移。
高精度:分辨率为0.15 nm（0.0059微英寸），精度为±0.25µm（0.000098英寸）。
简化接口:简化的P2接口，单个或多个电路板可以很容易地总线连接到单个伺服卡或多个伺服卡。
作用与用途
ZMI-2002主要用于高精度的位移和距离测量，适用于各种工业和科学应用。它广泛应用于光学、半导体、精密制造等领域，用于测量各种光学元件和表面的形貌、轮廓等参数。
应用领域
ZMI-2002的应用领域包括：
半导体制造:用于精确测量晶圆的平整度、表面粗糙度和其他关键尺寸。
光学组件和精密机械部件的制造:测量光学元件和精密机械部件的表面形貌和轮廓。
科学研究和质量控制:在各种科学研究和质量控制领域中进行高精度测量。
ZMI-2002 8020-0211-1-J
