描述
产品说明
LAM 853-150806-001是一种光谱仪模块,用于测量材料的组成。它是一个asm,eiocconta mini模块,包含光源、样品室和探测器,用于精确测量材料的组成。
产品参数
该模块具有以下参数:
包含光源、样品室和探测器。
具有四条总线:数据总线承载在由CPU执行的处理中使用的数据。
产品规格
LAM 853-150806-001是一种高精度和高稳定性的模块,适用于半导体制造设备,确保精确测量和控制。
系列
该产品属于ASM,EIOC CONTA MINI系列。
特征
高精度:能够实现高精度蚀刻,满足先进半导体制造过程的需求。
高效率:适用于半导体制造设备,确保精确测量和控制。
稳定性:适用于半导体制造设备,确保精确测量和控制。
作用
LAM 853-150806-001主要用于精确测量材料的组成,并控制PLC系统。
用途
该模块主要用于半导体制造设备中的材料组成测量和PLC系统的控制。
应用领域
LAM 853-150806-001主要应用于半导体行业,特别是在蚀刻工艺中作为组件使用。