描述
产品参数
810-068158-015
接口类型：RS-232,Ethernet
电源：24VDC
尺寸：225mm x 175mm x 85mm
重量：2kg
产品规格
工作温度范围：0°C至+50°C
防护等级：IP65
系列
该产品属于LAM Research半导体制造设备的备件系列。
特征
高精度：支持高速数据传输和实时控制
高可靠性：采用工业级元件设计，能够承受恶劣环境
易于使用：提供标准接口和软件开发工具
作用
控制蚀刻机器人的运动
监测蚀刻工艺参数
数据采集和远程控制
用途
该产品主要用于控制蚀刻机器人，适用于半导体制造过程中的各种蚀刻设备，如蚀刻设备、薄膜沉积设备、清洗设备和检测设备等。
应用领域
LAM 810-068158-015广泛应用于半导体制造、光伏制造及其他需要蚀刻工艺的行业。
