Description
产品说明：
001-4130-03
Brooks Automation 001-4130-03是一款高精度的晶圆对准控制器，属于Brooks Automation的VCE系列。它采用先进的定位算法和伺服驱动器，能够实现纳米级别的定位精度，确保晶圆在半导体制造过程中的精确对准。
产品参数：
控制精度：±2μm在X/Y方向，±0.1 mrad在θ方向。
重复性：X/Y方向为0.5μm，θ方向为0.05 mrad。
扫描范围：±20mm在X/Y方向，±5°在θ方向。
工作速度：X/Y方向为100mm/s，θ方向为10°/s。
工作温度范围：-40°C至85°C。
产品规格：
Brooks Automation 001-4130-03具有高精度、高可靠性和易用性，适用于半导体生产线中的晶圆对准操作。它能够提供精确的晶圆位置和角度控制，满足半导体制造工艺的严格要求。
系列：
该产品属于Brooks Automation的VCE系列。
特征：
高精度定位：采用先进的定位算法和伺服驱动器，实现高精度晶圆对准。
高可靠性：采用冗余设计和故障自诊断功能，确保即使在单个组件发生故障的情况下也能正常工作。
多轴控制：可同时控制多个机器人轴，满足复杂运动需求。
动态响应：快速响应指令，确保快速和准确的定位动作。
作用与用途：
Brooks Automation 001-4130-03主要用于半导体制造设备中的晶圆搬运和定位，确保电路图案在硅片上的准确放置。它在光刻过程中起到关键作用，通过高精度的定位和校准技术来保障后续工序的质量。
应用领域：
该控制器广泛应用于半导体制造、生命科学以及其他高科技行业。
