Description
Brooks Automation 001-4130-03
产品概述
001-4130-03
Brooks Automation 001-4130-03是由布鲁克斯自动化公司（Brooks Automation）生产的一款高精度、高可靠性的晶圆对准控制器。它在半导体制造过程中扮演着关键角色，确保晶圆在光刻等工艺中能够精确对齐，从而保证电路图案的准确放置。
主要特点
高精度控制：采用先进的控制算法和伺服机制，实现微米级的精度控制。
多轴控制：可以同时控制多个机器人轴，满足复杂的运动需求。
安全性设计：具备安全机制，防止意外移动或操作错误导致设备损坏。
快速响应：具有快速的运动速度和高可靠性。
应用领域
该控制器广泛应用于半导体制造的各个环节，包括但不限于：
晶圆清洗
光刻
刻蚀
沉积
CMP
测试
封装等。
技术规格
精度可达微米级。
支持多种类型的晶圆对准设备，如步进式对准机、扫描式对准机和双曝光对准机等。
系列与特征
Brooks Automation 001-4130-03属于其VCE系列晶圆对准控制器产品线，提供易于使用且高性能的解决方案。
功能与用途
此控制器主要用于控制和监测各种定位和对准任务，在半导体制造业和精密工程中发挥重要作用。通过高精度的定位和校准技术，确保晶圆的位置及方向准确，为后续工艺提供基础。
001-4130-03
