描述
产品说明
APEX3013
AE APEX3013是一款高性能、低功耗的射频电源模块，设计用于各种电子应用中。它能够产生固定频率的正弦波电压，频率范围在射频范围内（约3KHz~300GHz）。
产品参数
尺寸：15mm x 10mm x 1.3mm
频率范围：2.4 GHz-2.483 GHz
工作电压：1.9V-3.6V
工作温度：-40°C至+85°C。
产品规格
功率：3 kW
频率：13.56 MHz。
输入电压：~208V 3P,PF 50~60 Hz,14.5A。
系列
AE APEX系列射频电源和供电系统采用复杂的射频转换技术，在适合于真空室安装的模块化设计中提供增大的产品和工艺可靠性。
特征
高功率密度和卓越的可靠性。
引脚二极管匹配网络能够在几个不同的阻抗区工作。
具有适当的电压反馈，并将装置调节至最佳状态。
作用与用途
AE APEX3013射频电源主要用于半导体工艺设备、LED与太阳能光伏产业、科学实验中的等离子体发生、射频感应加热、医疗美容、常压等离子体消毒清洗等领域。此外，它还广泛应用于溅射、反应性离子蚀刻（RIE）、等离子增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体增强金属有机化学气相沉积（MOCVD）等系统。
应用领域
半导体生产。
平板显示器制造。
数据存储制造。
LED与太阳能光伏产业。
科学实验中的等离子体发生。
医疗美容。
常压等离子体消毒清洗。
