产品说明

ZMI-2002是由Zygo公司生产的双轴6U VME测量板，用于高精度和高稳定性的位置和位移测量应用。该板采用Zygo专有的干涉测量技术，可提供高分辨率和低噪声的测量结果

产品参数

测量轴数：2

分辨率：小于1纳米(<1 nm)

噪声：小于0.1纳米RMS

非线性误差：小于0.1页/分钟

测量范围：取决于光学元件

最大采样率：1 kHz

通信接口：VMEbus、ISA

电源要求：+5 V±5%3.5 A，+12 V±10%0.1安培

产品规格

尺寸：230 mm x 160 mm x 40 mm

重量：1.2千克

外壳材质：铝合金

系列

ZMI-2002属于Zygo ZMI系列测量板，该系列还包括其他型号，如ZMI-2001（单轴）和ZMI-2400、4000和4100（高精度）

特征

高精度：采用Zygo专有的干涉测量技术，实现亚纳米级分辨率。

高稳定性：采用高品质的元件和可靠的设计，确保长期稳定运行。

易于使用：提供友好的软件界面和丰富的功能，易于学习和使用。

可扩展性：支持扩展模块，可以根据需要扩展功能

作用

ZMI-2002可用于测量各种物体的位置和位移，包括半导体晶圆、光学元件、机械部件和生物样本

用途

ZMI-2002广泛应用于各种工业和科研领域，包括半导体制造、光学器件制造、精密机械制造、生物医学研究和科学研究

应用领域

ZMI-2002可用于尺寸测量、形状测量、振动分析、对齐、跟踪等领域