产品说明

ZYGO ZMI-4104是一款高精度的位移测量干涉仪，属于ZYGO公司的ZMI系列。这款设备利用ZYGO公司ZMI系列激光源驱动的干涉仪发出的光信号来计算位移，广泛应用于需要高精度位移测量的领域，如纳米技术、精密加工、光学制造和检测等

产品参数

轴/板的数量：1或2

板卡类型：6U VME64x

最小光功率：0.07µW

位置分辨率：0.1 nm

最大速度：±2.55 m/s

最大速度下的精度（σ）：0.2 nm

循环误差补偿：是

兼容的激光器：7702、7714和7724

产品规格

测量误差：小于0.25μm

测量范围：+100um

分辨率：0.1nm

最大测量速度：10mm/s

系列

ZMI-4104属于ZYGO公司的ZMI系列位移测量干涉仪

特征

高精度：测量误差小于0.25μm。

高稳定性：长时间稳定运行，满足高精度测量需求。

高分辨率：分辨率为0.1nm，能够捕捉到微小的位移变化。

广泛测量范围：测量范围为+100um，适用于多种不同应用场景。

快速测量：最大测量速度为10mm/s，提高了测量效率

作用

ZYGO ZMI-4104主要用于高精度位移测量，可以测量各种材料的表面形貌、厚度、折射率等参数，为科学研究和技术开发提供重要的测量工具

用途

ZMI-4104可用于测量各种材料的表面形貌、厚度、折射率等参数，适用于科学研究和技术开发

应用领域

ZMI-4104广泛应用于纳米技术、精密加工、光学制造和检测等领域