产品说明

BROOKS 001-4130-03是一款用于精确晶圆定位和控制的晶圆对准控制器，主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作。它属于Brooks Automation的VCE系列，提供高精度、高可靠性和易用性的晶圆对准解决方案。

产品参数

精度：亚微米级精度，确保晶圆的精确放置。

可靠性：采用高品质元件制造，可在恶劣环境下长期运行。

控制算法：先进的控制算法，确保晶圆的精确移动。

产品规格

型号：BROOKS 001-4130-03

系列：VCE系列

用途：半导体制造过程中的晶圆对准操作

系列

该产品属于Brooks Automation的VCE系列，该系列专注于提供高精度和高可靠性的晶圆对准解决方案。

特征

高精度定位：利用先进的定位算法，实现亚微米级的高精度定位。

高可靠性：采用高品质元件，确保在恶劣环境下的长期稳定运行。

易用性：操作简便，适合各种半导体生产线。

作用与用途

BROOKS 001-4130-03的主要作用是通过高精度的定位和校准技术来确保晶圆的位置及方向准确，从而为后续工艺提供基础。它广泛应用于半导体制造过程的各个阶段，包括晶圆加工、传输、检测等。

应用领域

该产品广泛应用于半导体制造的各个环节，如晶圆清洗、光刻、刻蚀、沉积、CMP（化学机械抛光）、测试和封装等。此外，它还可以集成至各类半导体设备中使用。