产品说明

BROOKS 001-4130-03是Brooks Automation VCE系列的一部分，专门用于半导体制造中的晶圆对准任务。它通过高精度定位算法和集成图像旋转及缩放功能，确保晶圆在各种加工步骤中的精确对准。

产品参数

行程范围：X-Y方向高达400mm。

定位精度：采用先进的定位算法，实现高精度定位。

可靠性：使用高品质元件制造，确保在恶劣环境下长期运行。

产品规格

控制器类型：晶圆对准控制器。

应用领域：半导体制造。

系列

该产品属于Brooks Automation的VCE系列，这是一个专门针对半导体制造设备的控制器系列。

特征

高精度定位：先进的定位算法和高精度传感器确保晶圆的精确对准。

集成功能：集成图像旋转和缩放功能，以提高对准精度。

高可靠性：高品质元件制造，适用于恶劣环境。

易用性：操作简便，适合生产线使用。

作用

BROOKS 001-4130-03主要用于控制和监测半导体制造过程中晶圆的对准操作。它确保晶圆与卡盘、标线片和其他部件的精确对准，从而实现电子电路的精确图案化和制造。

用途

该控制器广泛应用于半导体生产线中，用于精确对准硅片，以满足半导体制造工艺对精度的要求。

应用领域

BROOKS 001-4130-03主要应用于半导体制造行业，特别是在晶圆对准和搬运过程中，确保高质量和高效率的生产。