产品说明
MKS 220DD-00100A2B是一款高性能的数字式压力传感器,采用差分电容测量原理,专门用于测量低压范围内的压力。它具有1 Torr(1 mm Hg)的全量程压力测量能力,并且响应时间小于10毫秒。
产品参数
全量程范围:1 Torr(1 mm Hg)
精度:±0.25%FS
响应时间:<10 ms
耐腐蚀性:可承受各种腐蚀性气体的侵蚀
温度控制:温度控制至45°C,适用于苛刻环境
产品规格
接口:0.5英寸外径管接头
输入电压:115/230 VAC
输入信号:0-10 VDC和4-20 mA
系列
该产品属于MKS的Baratron®系列,该系列以其准确性、可靠性和紧凑尺寸而闻名。
特征
高精度:提供高精度的压力测量,满足苛刻的应用需求
快速响应:可快速响应压力变化,响应时间为<10 ms
宽量程:可测量0至25 bar的压力范围
耐腐蚀:可承受各种腐蚀性气体的侵蚀
作用与用途
MKS 220DD-00100A2B主要用于控制和测量气体的压力。其具体功能和用途取决于其所在的系统以及连接的设备。常见应用包括半导体制造、真空镀膜、分析仪器等领域。
应用领域
该产品广泛应用于半导体制造、薄膜沉积、分析仪器等需要高精度低压差测量的领域。