产品说明

Brooks Automation 001-4130-03是由Brooks Automation生产的一款晶圆对准控制器，属于Brooks Automation VCE系列产品线，提供高精度、高可靠性和易用性的晶圆对准解决方案。

产品参数

对准精度：±2μm在X/Y方向，±0.1 mrad在θ方向。

重复性：X/Y方向为0.5μm，θ方向为0.05 mrad。

扫描范围：±20mm在X/Y方向，±5°在θ方向。

速度：X/Y方向为100mm/s，θ方向为10°/s。

产品规格

Brooks Automation 001-4130-03控制器具有高精度定位功能，能够控制精密机械臂或平台的移动，实现纳米级别的定位精度。此外，它还具备动态响应能力，能够快速响应指令，确保快速和准确的定位动作。

系列

该产品属于Brooks Automation的VCE系列晶圆对准控制器。

特征

Brooks Automation 001-4130-03具有以下主要特征：

高精度：提供精确的晶圆位置和角度控制，满足半导体制造工艺的严格要求。

高可靠性：采用冗余设计和故障自诊断功能，即使在单个组件发生故障的情况下也能正常工作。

易用性：操作简便，适用于各种类型的晶圆对准设备。

作用与用途

Brooks Automation 001-4130-03主要用于半导体制造过程中的晶圆对准操作，确保晶圆在加工过程中能够被准确对齐。它广泛应用于半导体生产线，因其高精度、高可靠性和易操作性而受到青睐。

应用领域

该控制器广泛应用于半导体制造、生命科学以及其他高科技行业。此外，它也被用于光掩模对齐器中，用于生产高品质、高容量的光掩模。