产品说明：
001-4130-03
Brooks Automation 001-4130-03是由Brooks Automation公司生产的VCE系列晶圆对准控制器，用于精确控制半导体制造中的晶圆位置和角度。
产品参数：
控制精度：纳米级别的定位精度。
工作温度范围：-40°C至85°C。
防护等级：防震、防尘、防潮。
对准精度：X/Y方向±2μm，θ方向±0.1 mrad。
重复性：X/Y方向0.5μm，θ方向0.05mrad。
扫描范围：X/Y方向±20mm，θ方向±5°。
速度：X/Y方向100mm/s，θ方向10°/s。
产品规格：
Brooks Automation 001-4130-03属于Brooks Automation的VCE系列，具有高精度定位和高可靠性特点。
系列：
该产品属于Brooks Automation的VCE系列。
特征：
高精度定位：采用先进的定位算法和伺服驱动器，实现高精度晶圆对准。
高可靠性：采用冗余设计和故障自诊断功能，确保设备在单个组件发生故障时仍能正常工作。
多轴控制：可同时控制多个机器人轴，满足复杂的运动控制需求。
作用与用途：
Brooks Automation 001-4130-03主要用于半导体制造设备中的晶圆搬运和定位，确保晶圆在制造过程中的精确对准。
应用领域：
该产品广泛应用于半导体制造、生命科学以及其他高科技行业
