Brooks Automation 001-4130-03

产品概述

Brooks Automation 001-4130-03是由布鲁克斯自动化公司（Brooks Automation）生产的一款高精度、高可靠性的晶圆对准控制器。它在半导体制造过程中扮演着关键角色，确保晶圆在光刻等工艺中能够精确对齐，从而保证电路图案的准确放置。

主要特点

高精度控制：采用先进的控制算法和伺服机制，实现微米级的精度控制。

多轴控制：可以同时控制多个机器人轴，满足复杂的运动需求。

安全性设计：具备安全机制，防止意外移动或操作错误导致设备损坏。

快速响应：具有快速的运动速度和高可靠性。

应用领域

该控制器广泛应用于半导体制造的各个环节，包括但不限于：

晶圆清洗

光刻

刻蚀

沉积

CMP

测试

封装等。

技术规格

精度可达微米级。

支持多种类型的晶圆对准设备，如步进式对准机、扫描式对准机和双曝光对准机等。

系列与特征

Brooks Automation 001-4130-03属于其VCE系列晶圆对准控制器产品线，提供易于使用且高性能的解决方案。

功能与用途

此控制器主要用于控制和监测各种定位和对准任务，在半导体制造业和精密工程中发挥重要作用。通过高精度的定位和校准技术，确保晶圆的位置及方向准确，为后续工艺提供基础。